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G03F   图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备

 附注
    在本小类中,下列术语或词语以指定的含义使用:
“感光的”不仅仅是指对电磁辐射敏感的,也是指对微粒辐射敏感的;
“感光剂的成分”包括感光物质(例如,苯醌重氮)以及适当的黏合剂或添加剂;
“感光材料”包括感光剂成分(例如,光敏抗蚀剂)、携带感光剂材料的基层以及适当的辅助层。〔5〕

G03F 1/00用于图纹面的照相制版的原版的制备(一般照相制版工艺入G03F 7/00)〔3〕
G03F 1/02·用模仿凸版制造原型的照相方法的
G03F 1/04·用拼版方法的
G03F 1/06·来自印刷表面的〔5〕
G03F 1/08·原版带有无机成像层,例如,铬掩膜(G03F 1/12优先)〔5〕
G03F 1/10·通过曝光和水洗颜料或彩色有机层的;通过对高分子晶格染色的〔5〕
G03F 1/12·通过对卤化银感光材料或重氮感光材料曝光的〔5〕
G03F 1/14·以细部结构为特征的原版,例如,基片层、覆盖层、薄膜环〔5〕
G03F 1/16·原版带有窗孔的,例如,微粒平版印刷术〔5〕

G03F 3/00分色;色调值的校正(一般照相复制设备入G03B)
G03F 3/02·应用修版方法
G03F 3/04·应用照相装置
G03F 3/06··应用蒙版
G03F 3/08·应用光电装置
G03F 3/10·检查分色负片或正片的彩色或色调值

G03F 5/00网屏印刷法;其所用网屏
G03F 5/02·用投影方法(照相机入G03B)
G03F 5/04··改变网屏作用
G03F 5/06··改变光阑作用
G03F 5/08··应用线条网屏
G03F 5/10··应用十字线网屏
G03F 5/12··应用其他网屏,例如,粒状网屏
G03F 5/14·用接触方法
G03F 5/16··应用灰色半色调网屏
G03F 5/18··应用彩色半色调网屏
G03F 5/20·网屏用于照相凹版印刷
G03F 5/22·几个网屏组合;龟纹的消除
G03F 5/24·用多次曝光;例如,照相和网屏的联合方法

G03F 7/00图纹面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工艺;图纹面照相制版用的材料,如:含光致抗蚀剂的材料;图纹面照相制版的专用设备(用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置,例如,B44C,H01L,例如,H01L 21/00,H05K)〔3,5〕
G03F 7/004·感光材料(G03F 7/12,G03F 7/14优先)〔5〕
G03F 7/008··叠氮化合物(G03F 7/075优先)〔5〕
G03F 7/012···高分子叠氮化合物;高分子添加剂,例如,黏结剂〔5〕
G03F 7/016··重氮盐或化合物(G03F 7/075优先)〔5〕
G03F 7/021···高分子重氮化合物;高分子添加剂,例如,黏结剂〔5〕
G03F 7/022··苯醌重氮(G03F 7/075优先)〔5〕
G03F 7/023···高分子苯醌重氮;高分子添加剂,例如,黏结剂〔5〕
G03F 7/025··具有碳—碳三键的非高分子的可光聚合的化合物,例如,乙炔化合物(G03F 7/075优先)〔5〕
G03F 7/027··具有碳—碳双键的非高分子的可光聚合的化合物,例如,乙烯化合物(G03F 7/075优先)〔5〕
G03F 7/028···含有增光敏物质的,例如,感光刺激剂〔5〕
G03F 7/029····无机化合物;类化合物;含杂原子而不含氧、氮、硫原子的有机化合物〔5〕
G03F 7/031····G03F 7/029组不包括的有机化合物〔5〕
G03F 7/032···含有黏结剂的〔5〕
G03F 7/033····通过反应而得到的仅包含碳—碳不饱和键的黏结剂聚合物,例如,乙烯基聚合物〔5〕
G03F 7/035····黏结剂是聚氨基甲酸酯〔5〕
G03F 7/037····黏结剂是聚酰胺或聚酰亚胺〔5〕
G03F 7/038··高分子化合物被制备成不溶解的或非均匀可湿的(G03F 7/075优先;高分子叠氮化合物入G03F 7/012;高分子重氮化合物入G03F 7/021)〔5〕
G03F 7/039··可光降解的高分子化合物,例如,正电子抗蚀剂(G03F 7/075优先;高分子苯醌重氮化合物入G03F 7/023)〔5〕
G03F 7/04··铬酸盐类(G03F 7/075优先)〔5〕
G03F 7/06··银盐类(G03F 7/075优先)〔5〕
G03F 7/07···用于扩散转印的〔5〕
G03F 7/075··含硅的化合物〔5〕
G03F 7/085··以加速黏结的非高分子添加剂为特征的感光剂组分(G03F 7/075优先)〔5〕
G03F 7/09··以细部结构为特征的,例如,基片层、辅助层(印刷版的基片层一般入B41N)〔5〕
G03F 7/095···具有1个以上的感光层的(G03F 7/075优先)〔5〕
G03F 7/105···具有形成可见影像的物质的,例如,指示剂〔5〕
G03F 7/11···具有覆盖层或中间层的,例如,(使感光乳剂固着于片基的)胶层〔5〕
G03F 7/115···具有基片层或具有可获得网屏效应的层以及在真空印刷中为获得更好地接触的层〔5〕
G03F 7/12·网屏印刷模或类似印刷模的制作,例如,镂花模版的制作
G03F 7/14·珂罗版印刷模的制作
G03F 7/16·涂层处理及其设备(用于基底材料涂层一般入B05;用于摄影目的而施加到基底上的感光成分入G03C 1/74)
G03F 7/18··弯曲面的涂层
G03F 7/20·曝光及其设备(复制用照相印制设备入G03B 27/00)〔4〕
G03F 7/207··聚焦装置,例如自动地(定位与聚焦的结合入G03F 9/02;聚焦信号自动发生系统一般入G02B 7/28;投影印制设备的自动聚焦入G03B 27/34;)〔4〕
G03F 7/213··用同一光学图像使同一表面的不同位置上同时曝光(G03F 7/207优先)〔4〕
G03F 7/22··用同一光学图像使同一表面的不同位置依次曝光(G03F 7/207优先)〔4〕
G03F 7/23···相应的自动装置〔4〕
G03F 7/24··弯曲的版面
G03F 7/26·感光材料的处理及其设备(G03F 7/12至G03F 7/24优先)〔3,5〕
G03F 7/28··为获得粉末影像的(G03F 3/10优先)〔5〕
G03F 7/30··用液体消除影像的〔5〕
G03F 7/32···所用的液体成分,例如,显影剂〔5〕
G03F 7/34··用选择性转印去除影像的,例如,剥离〔5〕
G03F 7/36··G03F 7/30至G03F 7/34组中不包括的影像去除,例如,用气流、用等离子体去除影像〔5〕
G03F 7/38··去除影像之前的处理,例如,预烘干〔5〕
G03F 7/40··去除影像之后的处理,例如,烘干〔5〕
G03F 7/42··剥离或剥离剂〔5〕

G03F 9/00原版、蒙片、片框、照片、图纹表面的对准或定位,例如自动地(G03F 7/22优先;照相蒙片的制备入G03F 1/00;在复制用的照相印片设备中的入G03B 27/00)〔4〕
G03F 9/02·与自动聚焦装置相结合的(自动聚焦入G02B 7/09;聚焦信号的自动产生系统入G02B 7/28)〔4〕